عبارت “پلاسما”  اولین بار توسط ایروینگ لانگمویر در سال 1928 معرفی شد تا بخشی از بارهای متعادل گونه هایی مانند الکترون ها و یون ها را برجسته نماید 

در کنار جامدات، مایعات و گازها، پلاسما به عنوان چهارمین حالت ماده در نظر گرفته می شود که در حالت پایه یا در حالت برانگیخته آن دارای بار خنثی خالص است. به بیان دیگر، این گاز یک گاز یونیزه کامل یا جزئی حاوی ، یون‌ها، رادیکال‌های آزاد و الکترون‌ها است که می‌تواند توسط انواع تخلیه‌های الکتریکی تولید شود.

بر اساس دما، می توان پلاسما را به دو دستۀ  پلاسمای داغ که به عنوان “پلاسمای حرارتی”   شناخته می شود، و پلاسمای سرد که به عنوان “پلاسمای غیر حرارتی”  شناخته می شود، طبقه بندی کرد. پلاسماهای حرارتی در فشار بزرگتر مساوی 10⁵ پاسکال به دست می آیند و برای تولید، نیاز به توان قابل توجهی (تا 50 مگا وات) دارند. در این نوع پلاسما، یک تعادل ترمودینامیکی بین الکترون ها و گونه های سنگین وجود دارد. دمای گاز تقریباً برای همه اجزای پلاسما یکسان است و می تواند بسیار بالا ( 5 تا 20 هزار کلوین) باشد.

از سوی دیگر، پلاسمای غیر حرارتی یا سرد نوع دیگری است که در آن الکترون ها دمای بسیار بالاتری نسبت به گونه های سنگین تر دارند، زیرا به دلیل تفاوت در جرم آنها، پلاسمای غیر تعادلی نیز نامیده می شود. علاوه بر این، با عبور انرژی، گاز به گونه‌های مختلف واکنشی تجزیه می‌شود و به دنبال آن واکنش‌های یونیزاسیون، تحریک‌زدایی یا تحریک انجام می‌شود. این پلاسمای سرد غیر حرارتی انرژی کارآمدی داشته و گزینش پذیری بالایی را در واکنش‌های شیمیایی ایجاد می‌کند، زیرا تعادل ترمودینامیکی موضعی را نشان نمی‌دهد. بنابراین، با توجه به همه این دلایل، استفاده از فناوری پلاسمای سرد در تمامی علوم با سرعت بسیار بالایی در حال افزایش بوده و از جمله توجه فن‌شناسان را در پاکسازی محیط و مخصوصاً برای اهداف تصفیه فاضلاب به خود جلب کرده است.